柔性PZT復(fù)合薄膜壓力傳感器的研究進(jìn)展

摘要： 隨著柔性傳感器技術(shù)在人工智能、電子皮膚等領(lǐng)域的應(yīng)用，柔性PZT復(fù)合薄膜壓力傳感器因具有高柔性以及高壓電性能深受研究者的青睞。柔性PZT傳感器作為先進(jìn)智能設(shè)備的重要組成部分，對(duì)未來機(jī)器人電子皮膚以及智慧醫(yī)療的進(jìn)步有重大推動(dòng)作用。將從柔性PZT復(fù)合薄膜壓力傳感器的工作原理與制備、研究現(xiàn)狀及應(yīng)用等方面進(jìn)行綜述，最后對(duì)傳感器的現(xiàn)狀進(jìn)行了總結(jié)分析，并對(duì)傳感器的未來發(fā)展進(jìn)行展望。