表面缺陷深度的光聲近場信號增強檢測方法

摘要： 采用有限元法研究了脈沖激光激勵表面波在表面缺陷近場不同歸一化深度的反射系數(shù)，驗證表面波在缺陷近場處的信號增強現(xiàn)象。同時，通過對反射系數(shù)隨距離變化的分析，建立反射信號增強區(qū)域半徑的概念，并發(fā)現(xiàn)信號增強區(qū)域半徑與表面缺陷的深度有關(guān)，擬合得到表面缺陷深度測量公式并分析矩形缺陷寬度對深度測量的影響，修正了測量表面缺陷深度的公式。此外，根據(jù)反射系數(shù)隨缺陷深度變化的現(xiàn)象，分析歸一化深度與表...