應(yīng)用于劃痕檢測(cè)的白光共聚焦色散物鏡設(shè)計(jì)

摘要： 白光共聚焦位移傳感器在機(jī)車(chē)輪軸劃痕深度測(cè)量中有很好的適用性，色散物鏡是決定傳感器檢測(cè)范圍與分辨率的關(guān)鍵器件。根據(jù)檢測(cè)需求，結(jié)合白光共聚焦原理和線性色散條件選擇合適的初始結(jié)構(gòu)，利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)初始結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化與分析，設(shè)計(jì)了一款高線性度短共軛距色散鏡頭，測(cè)量范圍為1 mm，工作光譜范圍為400 nm～700 nm，鏡頭球差小于1.7μm，系統(tǒng)軸向位移分辨率為0.615μ...