基于組合測(cè)量方式的新型磁場(chǎng)式時(shí)柵位移傳感器

摘要： 針對(duì)數(shù)字化精密機(jī)械加工裝備和測(cè)量?jī)x器中的關(guān)鍵功能部件——位移傳感器測(cè)量精度過分依賴高精度加工的難題，提出基于組合測(cè)量方式的新型位移傳感新方法。利用在平面上均勻分布的激勵(lì)繞組產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，構(gòu)建運(yùn)動(dòng)參考系，建立位移和時(shí)間基準(zhǔn)之間的映射關(guān)系。通過控制感應(yīng)繞組的形狀實(shí)現(xiàn)磁場(chǎng)精確約束，從原理上抑制諧波誤差。采用差分排布的感應(yīng)繞組式及組合測(cè)量方式增強(qiáng)抗干擾性，提高位移測(cè)量精度。通過電磁仿真...