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Bi2O3摻雜Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0.1)Ti_(0.88)Mn_(0.02))O3壓電陶瓷及微型氣泵的制備與性能研究

壓電與聲光 頁(yè)數(shù)： 4 2023-10-20
摘要： 采用固相法制備了Bi2O3摻雜的Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0.1)Ti_(0.88)Mn_(0.02))O3壓電陶瓷，研究了體系的微觀結(jié)構(gòu)，以及Bi2O3摻雜量對(duì)體系壓電性能的影響；將體系最優(yōu)性能的樣品裝配成微型氣泵，并與日本村田的MZB1001T02微型泵進(jìn)行了性能對(duì)比。研究表明，Bi2O3摻雜Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0...

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