壓電微納定位平臺自適應(yīng)陷波濾波在線諧振抑制

摘要： 壓電驅(qū)動(dòng)柔性微納米定位平臺通常呈現(xiàn)低阻尼諧振模態(tài)，高速運(yùn)動(dòng)時(shí)易激發(fā)機(jī)械諧振，從而嚴(yán)重影響控制系統(tǒng)穩(wěn)定性、控制帶寬和軌跡跟蹤精度。為消除當(dāng)前諧振控制器對平臺動(dòng)力學(xué)建模精度的依賴性，該文設(shè)計(jì)了一種自適應(yīng)陷波濾波器來實(shí)現(xiàn)壓電微納定位平臺的在線實(shí)時(shí)抑制諧振。首先，搭建了壓電驅(qū)動(dòng)柔性微納定位平臺系統(tǒng)并建立其機(jī)電耦合動(dòng)力學(xué)模型；其次，利用快速傅里葉變換方法在線分析了閉環(huán)系統(tǒng)誤差信號，設(shè)計(jì)平...