一種MEMS壓力傳感器溫度補(bǔ)償方法

摘要： 針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)壓阻式壓力傳感器受環(huán)境溫度影響產(chǎn)生溫度漂移的問(wèn)題，該文分析了常用的溫度補(bǔ)償方法，提出了一種基于粒子群優(yōu)化-徑向基函數(shù)(PSO-RBF)的壓力傳感器溫度補(bǔ)償模型，結(jié)合標(biāo)定實(shí)驗(yàn)采集的樣本數(shù)據(jù)，建立了標(biāo)定壓力同敏感元件輸出電壓和溫度的非線性映射關(guān)系，實(shí)現(xiàn)了溫度補(bǔ)償效果。結(jié)果表明，與傳統(tǒng)的最小二乘法、三次樣條插值法、標(biāo)準(zhǔn)RBF、粒子群優(yōu)化反向傳輸神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(PS...