Al2O3混合液配比對電射流沉積高溫絕緣層的影響
儀表技術(shù)與傳感器
頁數(shù): 7 2023-07-25
摘要: 高溫薄膜傳感器廣泛應用在航空航天熱端部件的參數(shù)測量方面,制備出具有良好性能的高溫絕緣層是研制高溫薄膜傳感器的關(guān)鍵技術(shù)之一?;陔娚淞鞒练e技術(shù),通過測定溶液參數(shù)和對制備出的Al
2O
3絕緣薄膜進行表征分析,探究了Al
2O
3混合液中溶膠與納米懸浮液比例從1∶0.5逐步升至1∶1.5時,所制備的Al
2O
3高溫絕緣層性能的變化。結(jié)果表明:用該方法制備的Al
2O
3薄膜在1 ...