一種MEMS電場傳感器寬頻帶電場檢測方法

摘要： 基于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的微型電場傳感器憑借其體積小、功耗低、可批量化制造等優(yōu)點(diǎn)，在諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。MEMS電場傳感器可用于靜電場與交流電場檢測，但目前存在電場檢測頻率范圍較窄、測量不同頻率電場靈敏度不一致的問題。對此，根據(jù)對傳感器輸出信號的系統(tǒng)性分析，提出了一種適用于寬頻域電場檢測的方法。理論上，在不考慮放大電路帶寬限制和信號飽和的情況下，該方法檢測的電場頻率...