基于微平面線圈構(gòu)建的位移量磁調(diào)制技術(shù)研究

摘要： 在微系統(tǒng)中，利用慣性原理測(cè)量位移信號(hào)常用的方法是基于磁通聚集技術(shù)，即采用TMR傳感器將位移信號(hào)的變化轉(zhuǎn)換成磁場(chǎng)的變化進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)該方法，以位移磁調(diào)制模型為研究對(duì)象，以微平面線圈為磁場(chǎng)源，從理論方面深入研究磁感應(yīng)強(qiáng)度與微平面線圈電流、匝數(shù)和磁通聚集器間距以及調(diào)制膜位移量的關(guān)系并進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。仿真表明，磁通調(diào)制膜與TMR的直線距離在3μm和5μm時(shí)，分別能實(shí)現(xiàn)4.88 ...