固支結(jié)構(gòu)對(duì)壓阻式壓力傳感器的輸出影響研究

摘要： 針對(duì)MEMS壓阻式壓力傳感器微型化發(fā)展過(guò)程中精度難以保證的問(wèn)題，通過(guò)有限元仿真分析方法，研究固支結(jié)構(gòu)、封裝約束方法等變量對(duì)壓力傳感器輸出的影響。結(jié)果表明，固支結(jié)構(gòu)的引入會(huì)導(dǎo)致壓敏電阻所處路徑出現(xiàn)24.93%的應(yīng)力偏差，不同封裝方法會(huì)使路徑上產(chǎn)生0.54%～2.42%的應(yīng)力偏差。當(dāng)固支結(jié)構(gòu)寬度與壓力敏感薄膜膜厚的比例大于3∶1時(shí)，壓敏電阻所處位置應(yīng)力積分均值穩(wěn)定。結(jié)果表明，固支結(jié)...