基于非接觸光學的金剛石滾輪石墨型腔測量方法

摘要： 為了實現(xiàn)對金剛石滾輪石墨型腔的高精度測量，建立了基于激光同軸位移傳感器的型腔輪廓測量系統(tǒng)，介紹了系統(tǒng)組成與測量原理、系統(tǒng)坐標系建立及參數(shù)標定方法，并提出型腔徑向圓跳動與軸向圓弧輪廓度參數(shù)的測量計算方法。試驗結(jié)果表明，徑向圓跳動的測量標準差為0.003 3 mm,軸向圓弧半徑測量值最大偏差為1.7μm,圓弧輪廓度測量值最大偏差為0.7μm,測量精度高。