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Ce2(SO4)3對(duì)銅電沉積層晶粒細(xì)化的作用研究

中國(guó)稀土學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù): 10 2022-03-29
摘要: 采用添加不同濃度Ce2(SO4)3的工業(yè)電解液在哈林槽中進(jìn)行電沉積獲得陰極銅沉積層,通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)及X射線(xiàn)衍射儀(XRD)分析銅沉積層微觀形貌、晶粒尺寸及晶面取向,通過(guò)陰極極化曲線(xiàn)(LSV)、循環(huán)伏安曲線(xiàn)(CV)及計(jì)時(shí)電流曲線(xiàn)(CA)研究不同濃度Ce2(SO4)3對(duì)銅沉積層電化學(xué)行為的影響。結(jié)果表明,銅沉積層有一定的取向性,在(...

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