氣壓一步燒結(jié)和兩步燒結(jié)對氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)和性能的影響

摘要： 以Yb₂O₃和Al₂O₃為燒結(jié)助劑，研究氣壓一步燒結(jié)和兩步燒結(jié)工藝對Si₃N₄陶瓷結(jié)構(gòu)件微觀形貌、力學性能的影響。結(jié)果表明：一步燒結(jié)長時間保溫可以減少樣品內(nèi)部孔隙，但是會導致β-Si₃N₄晶粒異常長大，惡化部分力學性能。采用兩步燒結(jié)制備的Si₃N₄陶瓷相對密度達98.25%，內(nèi)外結(jié)構(gòu)均一，沒有晶粒異常長大現(xiàn)象；其維氏硬度(HV)為1478、室溫抗彎強度為83...