高純及超高純四氯化鈦制備技術(shù)研究進(jìn)展
應(yīng)用化工
頁(yè)數(shù): 5 2021-05-28
摘要: 四氯化鈦是鈦及其化合物生產(chǎn)中的重要中間產(chǎn)品,鈦工業(yè)的重要原料,有著極其廣泛的應(yīng)用。綜述了通過(guò)除釩、蒸餾、精餾、多級(jí)精餾等方法以及這些方法的組合來(lái)制備高純四氯化鈦;闡述了在高純四氯化鈦的基礎(chǔ)上,通過(guò)吸附、汽提、蒸餾、亞沸蒸餾、多級(jí)精餾等方法以及此類(lèi)方法的組合,來(lái)制備可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的超高純四氯化鈦。對(duì)超高純四氯化鈦的制備工藝進(jìn)行探討,并展望超高純四氯化鈦制備工藝的發(fā)展趨勢(shì)和方向...