基于錐形層流元件的氣體微小流量測(cè)量研究

摘要： 目的 常規(guī)毛細(xì)管層流流量測(cè)量技術(shù)因?qū)恿鱾鞲性Y(jié)構(gòu)而存在進(jìn)出口壓損等非線性問(wèn)題。因此，須改進(jìn)層流傳感元件，解決非線性問(wèn)題。方法 提出了一種錐形結(jié)構(gòu)的層流元件，利用在層流充分發(fā)展段直接取壓的優(yōu)勢(shì)，有效解決層流起始段非線性壓損問(wèn)題，能直接反映流量與差壓之間的線性關(guān)系。設(shè)計(jì)并加工了3種不同間隙的錐形層流元件，搭建了空氣微小流量測(cè)量系統(tǒng)。結(jié)果 在0.015 0～2.348 1 kg/h...