高靈敏度網(wǎng)狀石墨烯微弱壓力傳感器的研究

摘要： 為了改善微弱壓力傳感器的靈敏度，利用微結(jié)構(gòu)來產(chǎn)生壓阻效應(yīng)的方法，制備出一種性能優(yōu)異的壓力傳感器。研究了三種不同結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器，并設(shè)計(jì)和研究了石墨烯壓力傳感器的版圖結(jié)構(gòu)、工藝制備流程和材料表征。最后，對(duì)三種不同結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器進(jìn)行了靈敏度測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的石墨烯壓力傳感器具有較高的靈敏度，在低壓強(qiáng)下(0～200 Pa)的靈敏度可達(dá)到0.303 kPa~(...