基于激光干涉與電容傳感復(fù)合校準(zhǔn)技術(shù)的納米微動(dòng)臺(tái)分辨力評價(jià)方法研究

摘要： 激光干涉儀測量納米級分辨力時(shí)，因環(huán)境等因素的干擾測量具有局限性，電容傳感器可較好地對抗這種干擾，但存在無溯源性、非線性誤差的缺點(diǎn)。為實(shí)現(xiàn)納米級分辨力的量值溯源，保障量值準(zhǔn)確性，采用激光干涉儀對電容傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，從而形成納米微動(dòng)臺(tái)-電容傳感器-激光干涉儀的完成溯源鏈。通過量值溯源實(shí)驗(yàn)可知，在10 nm步進(jìn)下電容傳感器與激光干涉儀測量量值最大偏差為0.8 nm;電容傳感器分辨力校...