激光差動(dòng)共焦透鏡中心偏的自動(dòng)測(cè)量

摘要： 針對(duì)現(xiàn)有中心偏差測(cè)量方法中測(cè)量精度低、透鏡姿態(tài)調(diào)整人為干擾大的問(wèn)題，提出一種差動(dòng)共焦透鏡中心偏自動(dòng)測(cè)量方法。該方法通過(guò)差動(dòng)共焦定焦技術(shù)，依據(jù)差動(dòng)共焦軸向光強(qiáng)響應(yīng)曲線(xiàn)的過(guò)零點(diǎn)精確對(duì)應(yīng)被測(cè)鏡特征點(diǎn)這一特性，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)鏡貓眼點(diǎn)及共焦點(diǎn)的精準(zhǔn)定位；通過(guò)高精度氣浮轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)被測(cè)鏡旋轉(zhuǎn)，用位移傳感器、圓光柵記錄被測(cè)鏡的位置信息，結(jié)合五維位姿自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)鏡姿態(tài)的高精度校正，消除姿態(tài)...