微米尺度孔徑微透鏡陣列殘余應(yīng)力測量及分析

摘要： 微透鏡陣列在現(xiàn)代光學(xué)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，對陣列器件進(jìn)行殘余應(yīng)力測量從而評價器件質(zhì)量，指導(dǎo)優(yōu)化制造工藝具有切實的研究意義。現(xiàn)有的測量研究多著重于對陣列器件整體進(jìn)行應(yīng)力測量，對微透鏡單元的應(yīng)力分布尚未有系統(tǒng)的測量研究。本文基于雙折射原理，分別使用光彈系統(tǒng)/偏光顯微鏡，在宏觀/微觀尺度對不同基底厚度(0.5 mm/1 mm),不同單元排布方式(相切排布/緊密排布),不同微透鏡單元口徑...