高靈敏度ZnO納米梁諧振式加速度計

摘要： 針對諧振式加速度計靈敏度較低的問題，設(shè)計了一種基于化學(xué)氣相沉積(CVD)法制備的ZnO納米線作諧振梁的諧振式加速度計，采用了雙諧振梁的差分結(jié)構(gòu)，利用混頻檢測方式進(jìn)行諧振梁的激振和拾振。實現(xiàn)了超高靈敏度加速度檢測。使用COMSOL Multiphysics軟件建立加速度計結(jié)構(gòu)原型，仿真得到諧振梁的諧振頻率分別為1 926.480 kHz和1 926.499 kHz;在±5 g_n...