一種具有高能量分辨率Al₂O₃鈍化結(jié)區(qū)的PIN探測器

摘要： 提出了一種Al₂O₃鈍化結(jié)區(qū)的PIN探測器，與傳統(tǒng)PIN探測器不同的是，在器件正面的pn結(jié)和背面的高低結(jié)處沉積了10 nm厚的Al₂O₃薄膜。經(jīng)TCAD仿真結(jié)果表明，該探測器具有更低的漏電流和保護環(huán)處的電子電流密度，能對高能粒子射線入射產(chǎn)生良好的響應。設計了兩種探測器的制備步驟并制備了器件，通過薄膜少子壽命的表征、器件的暗態(tài)I-V測試和²⁴¹Am元素能譜測試對其進...