離子輻照對不同Nb含量CrNb涂層結(jié)構(gòu)和力學性能的影響

摘要： 利用能量為6 MeV、注量為2.3×10¹⁵ Au/cm~2的Au離子對磁控濺射法制備的Cr和CrNb涂層進行離子輻照。采用XRD、SEM及TEM等分析技術(shù)研究輻照對4種不同Nb含量的涂層微觀結(jié)構(gòu)和力學性能的影響。結(jié)果表明：隨著Nb含量增加，晶格畸變導致衍射峰偏移，晶體轉(zhuǎn)變?yōu)榉蔷?，?jīng)離子輻照后涂層相結(jié)構(gòu)出現(xiàn)了結(jié)晶現(xiàn)象。輻照令4種涂層表面形貌更光滑，同時TEM分析發(fā)現(xiàn)輻照區(qū)...