高靈敏度熱膨脹陀螺敏感機理研究

摘要： 該文提出了一種高靈敏度的熱膨脹陀螺，并對其敏感機理進行了研究。通過COMSOL創(chuàng)建了該結(jié)構(gòu)的二維模型，并對其進行了有限元分析。結(jié)果表明，輸入功率為5 mW,輸入角速度范圍為-1 000～1 000 (°)/s時，提出的熱膨脹陀螺溫度靈敏度為2.12 mK·[(°)/s]^-1,具有陀螺效應(yīng)，且熱膨脹陀螺靈敏度為1.98 mV·[(°)/s]^-1,非線性度為7.64%。...