單軸MEMS熱膨脹流陀螺敏感機理三維有限元分析

摘要： 該文提出了一種單軸微機電系統(tǒng)(MEMS)熱膨脹流陀螺的基本結(jié)構(gòu)，并揭示了其敏感機理。通過有限元法，利用COMSOL Multiphysics建立了陀螺的三維模型，在有無角速度時對陀螺敏感元件的溫度場和等溫線變化情況進行計算。結(jié)果表明，單軸MEMS熱膨脹流陀螺具有陀螺效應(yīng)，輸入角速度為[-1 080 (°)/s, 1 080 (°)/s],陀螺的結(jié)構(gòu)靈敏度為0.053 9 K/[...