互易壓電加速度計校準技術(shù)研究

摘要： 介紹一種針對內(nèi)部帶有驅(qū)動部件的壓電加速度計的校準方法，基于互易法的校準原理，通過2次試驗測量2個端口靈敏度的比值和乘積，實現(xiàn)互易壓電加速度計的校準。通過建立互易壓電加速度計的振動方程及力學(xué)模型，分析了靈敏度比值、靈敏度乘積和自校準系數(shù)的頻率響應(yīng)特性，并說明了對應(yīng)的校準方法。與激光干涉法進行了對比驗證實驗，實驗結(jié)果表明：在頻率范圍5～4 000 Hz, 2個端口靈敏度的平均相對偏...