三維成像技術(shù)的光學(xué)元件表面粗糙度智能測(cè)量方法

摘要： 光學(xué)元件在多個(gè)領(lǐng)域起著至關(guān)重要的作用，其應(yīng)用性能的優(yōu)劣主要由表面粗糙度決定，對(duì)此，提出三維成像技術(shù)的光學(xué)元件表面粗糙度智能測(cè)量方法。采集光學(xué)元件表面圖像，并進(jìn)行預(yù)處理，然后采用重構(gòu)算法獲取到光學(xué)元件表面三維圖像，并使用最小二乘中線提取元件表面三維形貌的中面，最后在表面三維形貌中面計(jì)算出三維粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面粗糙度智能測(cè)量。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示：設(shè)計(jì)方法測(cè)量的表面粗糙度因子...