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平面反射式二維光柵測量系統(tǒng)研究

激光與光電子學(xué)進(jìn)展 頁數(shù): 9 2023-01-05
摘要: 針對超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的二維亞微米級精度同步測量需求,提出并建立了平面反射式二維光柵測量系統(tǒng),研究了平面反射式二維光柵的平面位移同步測量方法,分析了平面反射式二維光柵測量系統(tǒng)的誤差傳遞模型。通過Vold-Kalman濾波算法,對光柵信號中存在的高次諧波誤差、幅值/相位誤差進(jìn)行實(shí)時(shí)修正和濾除。采用反正切細(xì)分算法和周期測量法對光柵正交脈沖的頻率進(jìn)行測量,實(shí)現(xiàn)對被測目標(biāo)的高分辨率測量和實(shí)時(shí)...

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