亞納米皮米激光干涉位移測量技術(shù)與儀器

摘要： 激光干涉位移測量技術(shù)因具有大量程、高分辨力、非接觸式及可溯源性等特點(diǎn)，成為當(dāng)前與下一代高端裝備、超精密計(jì)量的基礎(chǔ)性技術(shù)之一。在簡要介紹國內(nèi)外現(xiàn)有的各類亞納米級激光干涉儀的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)從“精”“準(zhǔn)”“快”方面綜述了面向亞納米、皮米級激光干涉位移測量技術(shù)的研究成果。首先，從激光干涉測量原理出發(fā)，分析了限制激光干涉儀中測量分辨力、速度等進(jìn)一步提升的主要誤差項(xiàng)及技術(shù)難點(diǎn)；其次，重點(diǎn)列舉...