光學非球面面形輪廓檢測技術

摘要： 隨著科技的進步，尖端產(chǎn)品和先進光電系統(tǒng)對光學系統(tǒng)的成像質量要求越來越高，光學非球面元件能有效地校正像差、減少系統(tǒng)所需光學元件數(shù)量、減輕系統(tǒng)重量，因此被廣泛應用。其特殊的面形特征決定了它的加工和檢測相對于球面更加困難，而檢測精度直接決定了加工精度，非球面檢測技術的重要性顯而易見。根據(jù)測量原理對光學非球面的檢測技術進行了概述；根據(jù)目前直接面形輪廓法在光學非球面的加工中應用最廣的情況...