單色儀設(shè)計(jì)與波長(zhǎng)精度分析補(bǔ)償方法研究

摘要： 針對(duì)紫外-可見光譜定標(biāo)精度需求，設(shè)計(jì)了一款波段范圍在185～900nm的三光柵單色儀；為提高單色儀的波長(zhǎng)掃描精度，降低高精度波長(zhǎng)掃描機(jī)構(gòu)在工程上的成本。建立了光柵轉(zhuǎn)角誤差對(duì)掃描機(jī)構(gòu)波長(zhǎng)精度的影響模型，設(shè)計(jì)了基于高精度編碼器的轉(zhuǎn)角誤差補(bǔ)償裝置，通過軟件不同參數(shù)設(shè)置和算法設(shè)計(jì)的補(bǔ)償算法，實(shí)現(xiàn)了波長(zhǎng)掃描機(jī)構(gòu)的精度校正；實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，通過參數(shù)算法補(bǔ)償后，掃描機(jī)構(gòu)的波長(zhǎng)準(zhǔn)確性精度和波長(zhǎng)重...