五維位姿監(jiān)測的差動共焦曲率半徑測量
光學(xué)精密工程
頁數(shù): 7 2023-04-10
摘要: 為提高球面透鏡曲率半徑的測量精度,提出基于五維位姿監(jiān)測調(diào)整的差動共焦曲率半徑高精度測量方法。通過驅(qū)動被測樣品回轉(zhuǎn),在探測器上監(jiān)測被測件的共焦點(diǎn)軌跡,測量被測件球心點(diǎn)與測量光軸之間的偏心誤差,結(jié)合位姿調(diào)整系統(tǒng)對偏心誤差進(jìn)行自動補(bǔ)償,確保測量過程中被測件球心與測量光軸重合,消除被測樣品球心離軸引入的測量余弦誤差,進(jìn)而消除每次裝調(diào)的樣品位姿誤差對測量精度的影響。理論計(jì)算和初步實(shí)驗(yàn)表明...