混頻對全視場外差動態(tài)干涉儀測量精度的影響

摘要： 全視場外差動態(tài)干涉儀在面形測量方面具有測量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，適合用于長焦距面形的動態(tài)干涉測量以及大口徑光學(xué)元件的測量。但是干涉儀系統(tǒng)內(nèi)部光學(xué)元件性能不理想以及元件裝配存在誤差等，會在干涉光路中引入頻率混疊，影響干涉儀的測量精度。為了分析混頻對全視場外差動態(tài)干涉儀測量精度的影響，從混頻產(chǎn)生的原因出發(fā)，建立了由混頻引入的測量誤差的理論模型，分析了混頻程度對測量精度的影響，...