面向納米柵格掃描的時滯壓電微動平臺耦合補償

摘要： 針對柵格納米掃描特別是高速掃描應(yīng)用中，帶測量滯后的壓電納米平臺軸間周期耦合補償?shù)膯栴}，提出一種無需復(fù)雜逆模型求解的魯棒周期干擾觀測控制策略。建立壓電平臺的機電耦合多擾動模型用以描述平臺系統(tǒng)的動力學(xué)行為。在此基礎(chǔ)上，構(gòu)建周期干擾觀測控制結(jié)構(gòu)。通過推導(dǎo)的性能優(yōu)化函數(shù)和魯棒穩(wěn)定性條件，將最優(yōu)控制器參數(shù)求解問題轉(zhuǎn)化為延時系統(tǒng)的混合靈敏度優(yōu)化問題，并通過無窮維H∞控制方法進(jìn)行求解。最后，...