基于條紋傳感的大口徑透鏡檢測方法

摘要： 為實現(xiàn)大口徑透鏡組的高質(zhì)量集成，亟需一套透射波前檢測系統(tǒng)，其可實現(xiàn)米級跨度上的微米級精度檢測。針對大口徑透射波前質(zhì)量檢測難題，采用非窄帶干涉與條紋跟蹤相結(jié)合的方法，獲得元件相對傾斜以及支撐結(jié)構(gòu)所引入的系統(tǒng)波前變化。首先，基于光纖互聯(lián)架構(gòu)，設(shè)計了子孔徑分時復(fù)用測系統(tǒng)；其次，建立了斜率測量與最終系統(tǒng)波前的映射關(guān)系，分析了斜率重建過程對不同空間頻率波前的影響；最后，利用桌面實驗系統(tǒng)，...