亞納米驅(qū)動(dòng)分辨力的六自由度微動(dòng)臺

摘要： 微位移工作臺是實(shí)現(xiàn)高精度定位的關(guān)鍵部件，傳統(tǒng)的工作臺自由度少且分辨力不高，不能滿足應(yīng)用需求，因此提出一種六自由度高精度微位移工作臺結(jié)構(gòu)方案并驗(yàn)證了其性能。在整體結(jié)構(gòu)上采用“串并聯(lián)混合驅(qū)動(dòng)”的方式和中空結(jié)構(gòu)，將六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)合理地分布在平動(dòng)層，轉(zhuǎn)動(dòng)層和支撐層三層結(jié)構(gòu)中，并設(shè)計(jì)開發(fā)了工作臺的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)以及一套可搭配使用的運(yùn)動(dòng)控制軟件。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，X,Y,Z軸線位移分別優(yōu)于20...