用于雙聚焦磁質譜儀的離子源電參數(shù)仿真研究

摘要： 離子源是雙聚焦磁質譜儀的重要組成部分，離子源性能對質譜儀的分辨率、靈敏度有關鍵影響。通過COMSOL仿真，建立了用于雙聚焦磁質譜儀的電子轟擊型離子源的模型，并探究了離子源中電參數(shù)對性能的影響。仿真結果表明，在設計的離子源結構中，電離電壓可在100 V～140 V之間找到一特定值，使電離幾率最高，引出極電壓和加速極電壓均會影響離子的二次聚焦位置，從而影響引出離子束的束寬、角度分散...