多梁凹槽高g值加速度計的設計與分析

摘要： 針對目前航空航天、車輛碰撞分析等領域對高g值加速度計的迫切需求，設計了一種新型多梁凹槽壓阻式加速度計，該加速度計利用變截面梁作為敏感梁來放大質(zhì)量塊的等效慣性力，并通過輔助梁與背面凹槽的組合有效提高結構剛度，實現(xiàn)了高靈敏度輸出和良好的頻寬特性。建立了加速度計的力學模型，并通過ANSYS有限元軟件仿真分析，優(yōu)化獲得了加速度計的結構和尺寸。利用敏感梁表面路徑，分析總結其應力分布規(guī)律，...