一種高靈敏度電容式波動陀螺的設(shè)計與分析

摘要： 基于固體波動陀螺靈敏度高、可靠性好、動態(tài)范圍寬等突出優(yōu)點，本文研究了一種全新的高靈敏度電容式微機電環(huán)形波動陀螺。首先設(shè)計了微機電環(huán)形波動陀螺的敏感結(jié)構(gòu)與整體結(jié)構(gòu)，并分析了工作特性與敏感原理；其次建立了環(huán)形敏感結(jié)構(gòu)的靈敏度數(shù)值模型，分析了靈敏度與主要設(shè)計參數(shù)的關(guān)系；最后對環(huán)形敏感結(jié)構(gòu)進行了模態(tài)仿真、靜電驅(qū)動分析、靈敏度分析與極限位移分析，得到了該微機電環(huán)形波動陀螺的諧振頻率為6....