基于剪切波變換的光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)方法

摘要： 針對(duì)精密光學(xué)元件表面劃痕缺陷形態(tài)大小隨機(jī)分布，難于檢測(cè)的問題，提出了一種基于非下采樣剪切波變換（NSST）和L0梯度最小化（LGM）的精密光學(xué)元件表面缺陷檢測(cè)的方法。首先，采用NSST將被測(cè)元件表面數(shù)據(jù)分解為不同尺度、不同方向的子塊；然后，在子塊上基于自適應(yīng)閾值使用LGM分離被測(cè)表面的紋理；最后，重構(gòu)變換域子塊，實(shí)現(xiàn)元件表面缺陷的檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：對(duì)包含256×256數(shù)據(jù)點(diǎn)的...