面向硅微諧振式加速度計(jì)的高精度片上溫度控制器

摘要： 為提高硅微諧振式加速度計(jì)在變溫環(huán)境下的精度與穩(wěn)定性，設(shè)計(jì)并制備了一種高精度的片上溫度控制器，它由硅襯底、鉑電阻加熱器、測(cè)溫電阻和溫度控制電路組成。對(duì)溫度控制器的傳熱模型進(jìn)行理論分析，使用COMSOL對(duì)片上溫度控制器進(jìn)行仿真。利用微加工技術(shù)制備溫度控制器，并設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)對(duì)溫控精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性、環(huán)境溫度影響、功耗等指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試。結(jié)果表明，溫度控制器可以在600 s內(nèi)穩(wěn)定在設(shè)定溫度±0....