基于靜電驅(qū)動的平行平板型微反射鏡的研制

摘要： 設(shè)計了一種基于靜電驅(qū)動的平行平板型微反射鏡，主要由鏡面、下電極、支柱和玻璃基板構(gòu)成。通過有限元模擬分析得到的仿真結(jié)果表明，帶孔結(jié)構(gòu)的微鏡模型模擬位移量是傳統(tǒng)雙橫梁支撐結(jié)構(gòu)微鏡模型的1.5倍，確定了制備的微鏡裝置結(jié)構(gòu)。在制備過程中只采用了濺射、光刻、機(jī)械切割及反應(yīng)離子刻蝕等工藝，簡化了工藝流程，降低了制備成本。使用反應(yīng)離子刻蝕(RIE)去除犧牲層，為了克服光刻膠OFPR800灰化...