一種應(yīng)用于大視場形貌測量的寬帶光干涉儀

摘要： 干涉測試是一種高精度的表面形貌無損測量方法。通常情況下，單色光干涉測試以激光作為光源，采用縮小成像方案測量表面面形。寬帶光干涉測試能夠有效避免單色光干涉測試時(shí)的2π相位模糊問題，常與顯微成像技術(shù)相結(jié)合，測量階躍型結(jié)構(gòu)的表面微觀形貌。當(dāng)階躍型結(jié)構(gòu)樣品的橫向尺寸較大時(shí)，寬帶光顯微測試需要采用拼接手段，降低了測量效率。本文提出了一種縮小成像的寬帶光干涉儀，該儀器可用于大尺寸階躍型表面...