非球面納米精度可控柔體制造技術

摘要： 非球面被廣泛應用于光學系統(tǒng),其可被用來整形像差,改善畫質,同時使光學系統(tǒng)更為緊湊,要求其具有納米級面形精度與低吸收光學性質.目前超精密制造過程中,以恒定的去除函數(shù)解算面形誤差,而光學表面誤差分布復雜,針對不同頻段與高度誤差需迭代多次.針對這一問題,本研究團隊提出了可控柔體制造技術,即去除函數(shù)隨不同誤差分布可控改變.本團隊基于該理念,將傳統(tǒng)連續(xù)出射的離子束可控離散,實現(xiàn)脈沖離子束...