激光差動共焦干涉高精度測量技術及儀器

摘要： 球面光學元件的曲率半徑、厚度、折射率、焦距和面形等多參數(shù)的高精度檢測是光學元件超精密制造的迫切需求，但現(xiàn)有測量方法受層析定焦能力、抗散射能力及抗環(huán)境擾動能力的制約，難以實現(xiàn)上述參數(shù)的高精度共基準測量。為此，本團隊提出了高層析、高分辨、抗散射和抗干擾的激光差動共焦多參數(shù)高精度共基準測量方法，并進一步與菲索干涉光路融合，實現(xiàn)了球面元件多參數(shù)的高精度、共基準、高效率測量。本文系統(tǒng)地介...