二維計(jì)量型平面光柵的設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)二維計(jì)量型平面光柵的設(shè)計(jì)和加工中工藝參數(shù)復(fù)雜的難點(diǎn)，本文基于電磁波時(shí)域有限差分方法，對(duì)硅基二維平面光柵的設(shè)計(jì)仿真進(jìn)行了探索和研究，并進(jìn)行了工藝實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。圍繞平面光柵對(duì)衍射效率、衍射效率均衡性等指標(biāo)的高要求，對(duì)不同結(jié)構(gòu)、槽深和占空比下二維光柵偏振衍射效率受到的影響和變化規(guī)律進(jìn)行了探索。仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在占空比45.0%～46.7%附近，隨著槽深增大，S偏振衍射效率逐漸減小...