高數(shù)值孔徑寬譜段折反射式物鏡設(shè)計(jì)
光學(xué)學(xué)報(bào)
頁數(shù): 7 2023-06-30
摘要: 針對基因測序、半導(dǎo)體檢測、工業(yè)顯微鏡及生命醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)︼@微物鏡日益增長的技術(shù)需求,成像譜段向著寬譜段深紫外(DUV)方向發(fā)展,目前非浸液式顯微物鏡存在數(shù)值孔徑(NA)低、視場小、寬譜段內(nèi)色差嚴(yán)重等問題?;诖耍岢鲆豢钫鄯瓷涫轿镧R。所提折反射式物鏡具有寬譜段、高數(shù)值孔徑、消色差等優(yōu)點(diǎn),根據(jù)折反射式結(jié)構(gòu)的消色差光學(xué)特性,鏡片只采用一種材料就可以校正色差。系統(tǒng)由12片鏡片組成,數(shù)值...