用于光學(xué)顯微成像的無(wú)像差雙二維微機(jī)電系統(tǒng)振鏡光束掃描方法
光學(xué)學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 9 2023-11-10
摘要: 光束掃描系統(tǒng)在光學(xué)顯微成像中扮演著重要的角色,針對(duì)現(xiàn)有光束掃描中繼系統(tǒng)尺寸、像差較大以及裝調(diào)精度要求高的問(wèn)題,提出一種雙二維微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)振鏡光束掃描方法。該方法采用兩片二維MEMS振鏡進(jìn)行光束遠(yuǎn)心掃描,其中,一片MEMS振鏡替代傳統(tǒng)中繼系統(tǒng)中的scan lens和tube lens,避免像差的引入,縮減系統(tǒng)尺寸,最終完成了小型化、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和無(wú)像差的光束掃描系統(tǒng)設(shè)計(jì)?;?..