高衍射效率低偏振靈敏度全反射浸沒光柵的設計

摘要： 浸沒光柵是星載溫室氣體監(jiān)測成像光譜儀光學系統(tǒng)中的核心分光元件，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的光譜分辨率和更緊湊的結構尺寸。推導了浸沒光柵的色散率公式，并對比了采用浸沒光柵和普通平面光柵時的光譜分辨率。針對溫室氣體O2-A帶的探測需求，利用有限元計算方法開展了浸沒光柵槽形結構的優(yōu)化設計，得到了兼有高衍射效率和低偏振靈敏度的全反射型浸沒光柵槽形參數(shù)，并分析了光柵結構參數(shù)和等效介質(zhì)層的制造公差。設計...