靜電MEMS微鏡諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡正弦估計(jì)的偏差研究

摘要： 靜電MEMS微鏡扭轉(zhuǎn)角實(shí)時獲取通常是通過測量出微鏡的諧振幅值和相位，按照正弦關(guān)系去估計(jì)任意時刻的扭轉(zhuǎn)角數(shù)值，但關(guān)于這種正弦軌跡的假設(shè)存在多大的偏差的相關(guān)報道很少。使用顯微激光多普勒方法，對C1100型MEMS微鏡在不同驅(qū)動頻率和驅(qū)動電壓下的真實(shí)諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡進(jìn)行了測量，并對比了真實(shí)軌跡和用正弦曲線擬合軌跡的偏差。結(jié)果證明，方波驅(qū)動下的MEMS微鏡，其真實(shí)軌跡和正弦擬合軌跡并不完...